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靜電放電(ESD)協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)
ANSI/ESD-S20.20-1999
建立一個靜電放電控制方案 ?保護(hù)電氣和
電子零件,裝置和設(shè)備(不包括電動引爆裝置)
靜電放電協(xié)會
7900 Turin Road, Bldg 3, Ste 2,
Rome, NY 13440? 2029
美國國家標(biāo)準(zhǔn)
1999年8月4日批準(zhǔn)
目錄
1. 目的……………………………………………………………………………………………………… 4
2. 范圍……………………………………………………………………………………………………… 4
3. 參考出版物……………………………………………………………………………………………… 4
4. 定義……………………………………………………………………………………………………… 5
5. 工作人員可靠…………………………………………………………………………………………… 5
2. 靜電放電之控制方案…………………………………………………………………………………… 5
2.0.1. 靜電放電控制方案的要求…………………………………………………………………………5
2.0.2. 靜電放電控制方案的指導(dǎo)原則……………………………………………………………………5
2.0.3. 修正…………………………………………………………………………………………………5
2.1. 靜電放電控制方案之行政要求………………………………………………………………………5
2.1.1. 靜電放電控制方案計劃………………………………………………………………………… 5
2.1.1.1. 靜電放電控制方案計劃之要求………………………………………………………………5
2.1.1.2. 靜電放電控制方案計劃之指導(dǎo)原則…………………………………………………………5
2.1.2. 培訓(xùn)計劃………………………………………………………………………………………2
2.1.2.1. 培訓(xùn)計劃要求………………………………………………………………………………2
2.1.2.2. 培訓(xùn)計劃指導(dǎo)原則………………………………………………………………………… 2
2.1.3. 認(rèn)證計劃………………………………………………………………………………………2
2.1.3.1. 認(rèn)證計劃之要求…………………………………………………………………………… 2
2.1.3.2. 認(rèn)證計劃指導(dǎo)原則…………………………………………………………………………2
2.2. 靜電放電控制方案之技術(shù)要求…………………………………………………………………2
2.2.1. 接地及連接系統(tǒng)……………………………………………………………………………2
2.2.1.1. 接地及連接系統(tǒng)之要求………………………………………………………………… 2
2.2.1.2. 接地及連接系統(tǒng)的指導(dǎo)原則………………………………………………………………2
2.2.2. 人員接地………………………………………………………………………………………2
2.2.2.1. 人員接地的要求……………………………………………………………………………2
2.2.2.2. 人員接地的指導(dǎo)原則………………………………………………………………………2
2.2.3. 被保護(hù)的區(qū)域…………………………………………………………………………………7
2.2.3.1 被保護(hù)的區(qū)域之要求……………………………………………………………………… 7
2.2.3.2. 被保護(hù)區(qū)域的指導(dǎo)原則…………………………………………………………………… 7
2.2.4. 包裝………………………………………………………………………………………………7
2.2.4.1 包裝的要求………………………………………………………………………………………7
2.2.4.2. 包裝的指導(dǎo)原則…………………………………………………………………………………7
2.2.5. 標(biāo)記…………………………………………………………………………………………………7
2.2.5.1. 靜電放電敏感裝置和設(shè)備……………………………………………………………………… 7
2.2.5.2. 包裝………………………………………………………………………………………………7
2.2.2. 設(shè)備…………………………………………………………………………………………………7
2.2.2.1. 交流電動工具…………………………………………………………………………………7
2.2.2.2. 電池作動力和氣體作動力的手持工具………………………………………………………7
2.2.2.3. 自動化取放機(jī)……………………………………………………………………………………7
2.2.7. 取放………………………………………………………………………………………………7
2.2.7.1. 取放流程的要求……………………………………………………………………………7
2.2.7.2. 取放流程的指導(dǎo)原則………………………………………………………………………8
7. 附錄A-敏感性測試……………………………………………………………………………………11
7.1. 靜電放電敏感性測試………………………………………………………………………………11
7.1.1. 人體模型敏感度(HBM)………………………………………………………………………11
7.1.2. 機(jī)器模型敏感度(MM)…………………………………………………………………………11
7.1.3. 帶電器件模型敏感度(CDM)……………………………………………………………………11
7.2. 裝置,設(shè)備和設(shè)計強(qiáng)化……………………………………………………………………………12
7.2.1. 裝置,設(shè)備和設(shè)計強(qiáng)化指導(dǎo)原則:……………………………………………………………12
7.2.2. 直接接觸,非操作裝置之身體/手指或手/金屬測試:……………………………………… 12
7.2.3. 直接接觸操作中的設(shè)備之手/金屬測試:……………………………………………………12
7.2.4. 間接接觸,操作中的設(shè)備之家具模型測試:………………………………………………12
8. 附錄B-相關(guān)文件……………………………………………………………………………………13
8.1. **/美國政府文件:…………………………………………………………………………13
8.2. 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn):……………………………………………………………………………………13
表格目錄
表 1.靜電放電控制方案技術(shù)要求之概括………………………………………………………9
表 2.器件的靜電放電敏感度之測量參考………………………………………………………11
表 3.裝置和設(shè)備之靜電放電敏感性測試參考…………………………………………………12
國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(ANSI)/靜電放電(ESD)協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ANSI/ESD-S20.20-1999建立一個靜電放電控制方案的靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)?ESD DS 5.3.1 靜電放電(ESD)敏感性測試之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)組件級別上的帶電器件模型(CDM)1
保護(hù)電氣和電子零件,裝置和設(shè)備(不包括電動引爆裝置)
1. 目的 ANSIEOS/ESDS2.1保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之
靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ?“接地”-推薦做法1
本標(biāo)準(zhǔn)的目的是提供行政和技術(shù)上的要求,以及建立,實(shí)施和維護(hù)靜電放電控制方案(文中稱"方案")的指導(dǎo)。
ANSI/ESD S 7.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之美國國家標(biāo)準(zhǔn)局及靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)-材料的電阻特性-地板材料1
2. 范圍
本標(biāo)準(zhǔn)所適用的領(lǐng)域包括:制造,處理,裝配,安裝,包裝,標(biāo)簽,服務(wù),測試,檢驗(yàn)以及其它除此之外,在處理電氣,電子零件,裝置和設(shè)備中,對靜電放電損害的敏感度超過或等于人體模型的100V。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于電動引爆設(shè)備,易燃液體和粉末。
EOS/ESD S 8.1 靜電放電(ESD)敏感性測試之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)? 標(biāo)志-靜電放電之警告1
ESD S9.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 鞋類-電阻特性1
3. 參考出版物 ESDDSP10.1保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放
電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)草案 ? 自動式處置1
除非特別指明,以下文獻(xiàn)的*新版本,修正或校正,構(gòu)成本標(biāo)準(zhǔn)的一部分,作為特別擴(kuò)充。
ANSI/EOS/ESD S 11. 11 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 消電平面材料的表面電阻測量1
EOS/ESD ADV 1.0 ECIS/靜電放電協(xié)會專門名詞表1
ESD DS 11.12 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)消電平面材料的體電阻測量1
ESD S1.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) -防靜電手腕帶1
ESD ADV 11.2 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會咨詢文件 ? 犘擦電荷積累測試1
EOS/ESD ADV 2.0 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的靜電放電協(xié)會咨詢文件 ? 靜電放電手冊1
ANSI/ESD S11.31 評估靜電放電保護(hù)性材料之功能的靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 包裝袋1
ESD STM 2.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 工作服1
ESD STM12.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 座椅-電阻特性1
ANSI EOS/ESD S3.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)? 電離化1
ESD DS 13.1 焊接或拆焊手動工具中的電位之測量的靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)
ESD S4.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 防靜電工作表面-電阻特性1
ESD ADV53.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會咨詢文件 ? 防靜電放電工作臺1
ESD STM4.2 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 防靜電工作表面-消電的特性1
ESD STM97.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 地板材料與鞋-人組合的電阻特性1
ESD STM5.1 靜電放電(ESD)敏感性測試之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)? 組件級別上的人體模型(HBM)1
ESD STM97.2 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測試方法之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) ? 地板材料和鞋-測量在人體上的電壓1
ESD STM5.2 靜電放電(ESD)敏感性測試之靜電放電協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)? 組件級別上的機(jī)器模型(MM)1
ANSI C23.12 "靜電放電測試方法和電子設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)的美國國家標(biāo)準(zhǔn)指南"
1 靜電放電協(xié)會, 7900 Turin Road, Bldg 3, Ste 2,Rome,NY13440-2029,315-339-2937
4
ANSI/ESD-S20.20-1999
2. 靜電放電之控制方案
IEC 1000.4.2 "工業(yè)生產(chǎn)過程測量及控制設(shè)備的電磁兼容性,弟二部分:靜電放電之需求"
2.0.1. 靜電放電控制方案的要求
IEEE STD C22.38 "IEEE之靜電放電指南: 靜電放電承受能力的評估方法(電子設(shè)備次級組裝)"
MIL-STD-750 1020方法 軍方標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體裝置及靜電放電敏感性(ESDS)分類之測試方法2
MIL? STD? 883 3015方法,國防部,測試方法標(biāo)準(zhǔn):微型電路,靜電放電敏感性 (ESDS)分類2
MIL? STD? 2073? 1國防部,**包裝之標(biāo)準(zhǔn)操作2
MIL? PRP? 19500 功能規(guī)范,半導(dǎo)體裝置的一般規(guī)范2
QML? 19500 軍方規(guī)范MIL? PRPP19500下的合格產(chǎn)品制造商名單,半導(dǎo)體的一般規(guī)范2
MIL? PRP? 38535 功能規(guī)范,集成電路(微型電路)制造的一般規(guī)范 2
QML? 38535 軍方規(guī)范MIL? PRP? 38535下的合格的先進(jìn)微型電路制造商名單, 微電路制造的一般要求2
VZAP, 靜電放電敏感性數(shù)據(jù)3
4. 定義
本文中所使用的用語與EOS/ESD協(xié)會的詞匯表,EOS/ESDADV 1.0,中的詞匯,是相符合的。
5. 工作人員可靠
文件中描述的工作流程和設(shè)備,或許會導(dǎo)致操作人員暴露于有害的電氣環(huán)境。本文件的用戶應(yīng)負(fù)責(zé)選擇符合相關(guān)法律, 管理?xiàng)l例和內(nèi)外部政策的設(shè)備。用戶要慎重地注意到,本標(biāo)準(zhǔn)不能替換或代替任何其它關(guān)于操作人員可靠的
要求。
無論在哪里,只要操作人員會與電源相接觸的地方,接地斷路器(GPCI)和其它可靠保護(hù)措施應(yīng)被采用。
減少電氣傷害的操作應(yīng)進(jìn)行演習(xí),正確的機(jī)臺接地指導(dǎo)必須遵從。如在此所描述的,該方案應(yīng)包括行政和技術(shù)要求。根據(jù)這個方案,所處理的物體的*高敏感度被記錄下來。按照本文件的要求,使用單位應(yīng)建立,記錄,實(shí)施,維護(hù)以及核實(shí)方案的遵守情況。
2.0.2. 靜電放電控制方案的指導(dǎo)原則
方案的主要宗旨是要提供連續(xù)的靜電放電保護(hù)。靜電控制和保護(hù)需要將方案的要求,實(shí)施在設(shè)計、生產(chǎn)、檢查、測試、存貯、發(fā)貨、安裝、使用、維護(hù)、替換及維修等環(huán)節(jié)。
2.0.3. 修正
本文件,或其中的部份,可能不適用于所有的應(yīng)用。通過評估每個要求對各具體應(yīng)用的適用性,來完成方案的修正工作。完成了這個評估,要求可以被增加,被修改或被刪除。對決議的修正,包括理論基礎(chǔ),應(yīng)記錄在靜電放電控制方案計劃(此后稱為" 計劃")中。
2.1. 靜電放電控制方案之行政要求
2. 1.1. 靜電放電控制方案計劃
2.1.1.1. 靜電放電控制方案計劃之要求
各單位應(yīng)制定一個靜電放電控制方案計劃,將方案中的每一個要求都一一列出。這些要**:計劃,培訓(xùn),符合驗(yàn)證以及靜電放電控制方案計劃的技術(shù)要求。該計劃是實(shí)施和檢驗(yàn)靜電放電控制方案的主要文件。其目標(biāo)是成為一個與內(nèi)部質(zhì)量系統(tǒng)要求相符合的,充分實(shí)施和整合了的方案。該計劃應(yīng)指出,本文中所描述的要求,并應(yīng)用于工作中的各個方面。該計劃還應(yīng)包含各單位的具體要求,并隨著技術(shù),工藝及流程的變化而提高。如果合約上有器件或裝配測試要求,確定靜電放電敏感性的選項(xiàng)還包括了QPL? 19500, QML? 38535, VZAP數(shù)據(jù)或制造商的數(shù)據(jù)表。努力辨認(rèn)和消除缺陷,并防止缺陷的出現(xiàn),是計劃的一個組成部分,以減少與靜電放電損害相關(guān)連的成本和危險。
2.1.1.2. 靜電放電控制方案計劃之指導(dǎo)原則
該計劃應(yīng)對方案的適用范圍,任務(wù),行動以及為防護(hù)靜電放電敏感達(dá)到或超過一定具體程度的對象,所采用的必要措施進(jìn)行描述。明確單位內(nèi)部的任務(wù)和行動之責(zé)任。列出那些在方案中應(yīng)用的指導(dǎo)性和支持性文件。該計劃還應(yīng)列出,方案中所應(yīng)用的靜電放電防護(hù)材料和設(shè)備的具體種類。一個實(shí)用的計劃的一個主要要素就是對零件,裝置,及設(shè)備的靜電放電敏感性和防護(hù)水平的評估。建立靜電放電敏感度的通用方法是,從三種用于描述靜電放電特性的放電模型中,即人體模型(HBM),機(jī)器模型(MM),帶
2
國防印刷服務(wù)獨(dú)立辦公室, Bldg 4D (NPM-DODSSP), 700 Robbins
Ave., Philadelphia, PA 19111-5094, 215-297-5124
3 IIT Research Institute, 201 Mill, Rome, NY 13440, 315-
336-2359
5
ANSI/ESD-S20.20-1999
電器件模型(CDM)(參見附錄A),選用一種或多種模型。選擇具體的靜電放電控制流程或材料,取決于計劃的
制定者,同時也取決于對危險的評估和零件,裝置及設(shè)備的靜電放電敏感度的確立。該計劃還應(yīng)保證,靜電放電敏感物件的供貨商和本單位,根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)建立和實(shí)施一個靜電放電控制方案。
2.1.2. 培訓(xùn)計劃
2.1.2.1 培訓(xùn)計劃要求
應(yīng)對那些從事處理或接觸靜電放電敏感物件的工作人員提供初級和周期性的,有關(guān)靜電放電提示和預(yù)防的培訓(xùn)。
培訓(xùn)計劃應(yīng)為工作人員定下靜電放電培訓(xùn)類型和頻率。培訓(xùn)計劃要將每次培訓(xùn)的過程,記錄在個人培訓(xùn)文件檔案中。培訓(xùn)的方法和具體技巧,由個單位選擇。被選擇的,還應(yīng)包括一個客觀評價技術(shù),以保證受訓(xùn)人員理解并得到充分訓(xùn)練。
2.1.2.2 培訓(xùn)計劃指導(dǎo)原則
員工的周期性靜電放電培訓(xùn),是方案中不可缺少的部分。靜電放電培訓(xùn)包括初級和周期性培訓(xùn),以加強(qiáng)方案的
要求并根據(jù)學(xué)習(xí)到的經(jīng)驗(yàn)作出修改。那些在檢討和審計中發(fā)現(xiàn)的缺點(diǎn)之修正及其方法,也應(yīng)該是培訓(xùn)過程的一部分。培訓(xùn)的要求應(yīng)該與單位的處置靜電放電敏感零件、裝置及設(shè)備的流程同時建立起來。
2.1.3. 認(rèn)證計劃
2.1.3.1 認(rèn)證計劃之要求
認(rèn)證計劃的建立,是要確保單位能夠達(dá)到靜電放電方案計劃的要求。正式的審計或驗(yàn)證應(yīng)根據(jù)認(rèn)證計劃進(jìn)行,該計劃要明確認(rèn)證的要求,認(rèn)證的次數(shù)。通過選用測試設(shè)備,來測量靜電放電方案計劃中的技術(shù)要求之特性。
2.1.3.2 認(rèn)證計劃指導(dǎo)原則
除了內(nèi)部審計, 為確保與計劃中的要求相符合,還應(yīng)進(jìn)行外部審計(由提供靜電放電敏感物件的機(jī)構(gòu)及供貨商來
執(zhí)行)。按靜電放電方案之計劃中的技術(shù)要求,進(jìn)行的例行檢查應(yīng)包含在驗(yàn)證中。驗(yàn)證檢查的頻率取決于控制對象的用途,它的耐久性及相關(guān)聯(lián)的失效風(fēng)險。
2.2. 靜電放電控制方案之技術(shù)要求
表1確認(rèn)和描述了,在建立靜電放電控制方案和計劃過程中,所用到的關(guān)鍵的技術(shù)要求。注意,對每一項(xiàng)技術(shù)要
求,都有必要的和選擇的實(shí)施過程或方法(用“R”或“O”表示),以滿足該項(xiàng)技術(shù)要求。如果,對應(yīng)一項(xiàng)技
術(shù)要求,有一個必要實(shí)施的過程或方法,那幺,該實(shí)施的過程或方法就必須被采用。如果,還有一些附加的選擇項(xiàng)目,那幺,這些選擇項(xiàng)目可以被選入,也可以不被選入靜電放電控制方案的計劃中。如果,一項(xiàng)技術(shù)要求只含有一些選擇項(xiàng)目(由“O”表示),那幺,至少必須選擇一項(xiàng)選擇項(xiàng)目,實(shí)施于靜電放電控制方案的計劃中。該計劃應(yīng)包括測試方法,許可范圍和周期性測試的間隔時間。表1中的區(qū)域1(Area1.)被選作長久靜電放電控制范圍,譬如制造業(yè),生產(chǎn)或分布工場設(shè)施。區(qū)域2(Area2.)被選為臨時控制靜電放電防治區(qū)域,如現(xiàn)場服務(wù)區(qū)或通常不設(shè)防護(hù)裝備的遙遠(yuǎn)偏僻的位置。若采用的測試方法與表1所列出的測試方法不同,應(yīng)被記錄下來。其它的指導(dǎo)原則能在ESDADV2.0關(guān)于保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的靜電放電協(xié)會咨詢文件 ? 靜電放電手冊中找到。
2.2.1. 接地及連接系統(tǒng)
2.2.1.1. 接地及連接系統(tǒng)之要求
接地/連接系統(tǒng)應(yīng)被使用,以保證靜電放電敏感物件、工作人員和所有其它導(dǎo)電體(如移動設(shè)備),處在同樣的電位。至少,靜電放電敏感對象、工作人員和其它相關(guān)導(dǎo)電體應(yīng)相互連接或電氣互聯(lián)。
2.2.1.2 接地及連接系統(tǒng)的指導(dǎo)原則
在大多數(shù)情況下, 弟三條導(dǎo)線(綠色的)交流設(shè)備接地4是接地的*優(yōu)先選擇。當(dāng)?shù)苋龡l交流設(shè)備接地導(dǎo)線不能用到或不適用時,工作人員應(yīng)該通過腕帶或其它接地系統(tǒng)與靜電放電敏感物件的一個導(dǎo)電性組件相連接,以保證所有組件處在同樣電位。
2.2.2. 人員接地
2.2.2.1. 人員接地的要求
當(dāng)處理靜電放電敏感物件時,所有人員應(yīng)與接地點(diǎn)或?qū)S媒拥攸c(diǎn)相連接。當(dāng)人員坐在有靜電放電防護(hù)的工作臺
時,他們應(yīng)通過腕帶系統(tǒng)被連接到共同接地點(diǎn)。注意:當(dāng)接地人員在通電設(shè)備上工作時,單位必須知道當(dāng)?shù)氐目煽糠杉罢鲁獭?/span>
2.2.2.2 人員接地的指導(dǎo)原則
在所有個案中,人員接地系統(tǒng)包括人、控制物及與接地點(diǎn)的連接。紀(jì)錄表應(yīng)該保存,以證實(shí)的工作人員己經(jīng)測試過他們的個人接地裝置。處理靜電放電敏感產(chǎn)品之前,工作人員應(yīng)該檢查固定的監(jiān)測儀器(當(dāng)被使用時)以保證他們有效及能夠操作。另外, 固定的監(jiān)測儀器應(yīng)該定期地依照設(shè)計被檢查以保證其功能。靜電放電防護(hù)地板,與批準(zhǔn)的鞋類一同使用時, 也能在站立式操作中,用作腕帶系統(tǒng)之外的一個選擇。鞋類包括腳接地器,鞋子或短襪。當(dāng)設(shè)備接地或輔助接地系統(tǒng)不能使用時, 互相連接或電氣連接(到專用接地)也能被使用。
2.2.3. 被保護(hù)的區(qū)域
4 設(shè)備接地的弟三條線的顏色會根據(jù)不同的地方,國家或國際條例而變化
6
ANSI/ESD-S20.20-1999
2.2.3. 1 被保護(hù)的區(qū)域之要求
應(yīng)在被保護(hù)的區(qū)域中,處理沒有防靜電覆蓋或包裝的靜電放電敏感零件,裝置和設(shè)備。表明被保護(hù)之區(qū)域的警告標(biāo)志應(yīng)張貼在工作人員進(jìn)入保護(hù)區(qū)域的入口之前,并且能清晰可見。在非保護(hù)的區(qū)域,靜電放電敏感物件應(yīng)使用防護(hù)靜電包裝。只有完成了適當(dāng)?shù)撵o電放電培訓(xùn)的人員,才能進(jìn)入保護(hù)區(qū)域。在保護(hù)區(qū)域里,受過培訓(xùn)的人員應(yīng)帶領(lǐng)著未受過培訓(xùn)的人員。所有非必要的絕緣體, 譬如那些塑料或紙制的(如咖啡杯子,食物封包和個人物品)必須從工作臺取走。若考慮到靜電場會構(gòu)成威脅,電離或其它緩和電荷積累的技術(shù),可用在工作臺上,以中和制程中所有必要的絕緣體上的靜電場(如靜電放電敏感機(jī)件零件、零件載體和專業(yè)工具)。
2.2.3.2 被保護(hù)區(qū)域的指導(dǎo)原則
保護(hù)區(qū)域也許是一個工作臺(固定或移動式的),實(shí)驗(yàn)室,房間,大廈或任何其它具有預(yù)先指定邊界的,包含限靜電位的材料和設(shè)備的區(qū)域。在靜電放電控制方案中,濕度控制也是一個關(guān)鍵要素。當(dāng)濕度減少時,靜電的產(chǎn)生
和積累的傾向相對增加。所有必要的絕緣體,如果帶有超出二千伏特的電場,應(yīng)該與靜電放電敏感物件保持至少十二英寸的距離。二千伏特是指,在測量位置處測得的電場值,它并不直接地與這個物件的電位有關(guān)。靜電場的準(zhǔn)確的測量,要求該測量的操作人員必須熟悉測量器材的操作。多數(shù)手持的計量器,要求在與物體有一固定的距離下取讀數(shù)。儀器制造商通常指定待測物體的*小的尺寸。如果物體比*小尺寸還小的話,也許不能提供準(zhǔn)確讀數(shù)。關(guān)于保護(hù)區(qū)域的一些另外的指導(dǎo)原則可在ESD ADV 2.0中找到。
2.2.4. 包裝
2.2.4.1 包裝的要求
防靜電包裝和包裝標(biāo)志應(yīng)符合合同,采購訂單,圖紙或其它文獻(xiàn)。當(dāng)合同,采購訂單,圖紙或其它文獻(xiàn)沒有界定防靜電包裝時,各單位應(yīng)在靜電放電控制方案的計劃之內(nèi),定義靜電放電敏感對象的防靜電包裝要求。在保護(hù)區(qū)域內(nèi)或工作場所之間,所有移動材料的包裝也應(yīng)被定義。
2.2.4.2. 包裝的指導(dǎo)原則
防靜電包裝的技術(shù)范圍很廣泛。有些技術(shù)包括低帶電包裝袋和包裝材料,隔離材料,消電包裝材料,靜電屏蔽,
導(dǎo)電性分流器和EMI/RPI屏蔽的使用。所有或一些包裝的類型,可以與另外一種類型結(jié)合使用,以達(dá)到綜合的保護(hù)的水平。如果用戶不知道所使用的物品之敏感度,可采用靜電屏蔽包裝。典型的包裝材料包括了,聚乙烯板材和薄膜,具有特別波紋涂層的紙盒,含碳的塑料,金屬化的塑料薄膜和各種各樣的箔材。防靜電包裝的主要目標(biāo),是要防止靜電放電直接發(fā)生在所包裝的靜電放電敏感物件上,及將電荷通過外表面消散。另外, 包裝應(yīng)該將在靜電放電敏感物件上,因外部靜電場和犘擦生電而產(chǎn)生的電荷減到*小。用戶應(yīng)該知道, 一些包裝材料也許依賴濕度且壽命有限。它們也可因弄皺, 刺破和折疊而失去防靜電特性。包裝材料也會因放氣,污染或帶來微粒,造成與生產(chǎn)相關(guān)的問題。重要的是,各單位應(yīng)從制程,存貯和環(huán)境兼容性出發(fā),去評估防靜電包裝的材料。
2.2.5. 標(biāo)記
2.2.5.1. 靜電放電敏感裝置和設(shè)備
靜電放電敏感裝置和包含靜電放電敏感零件及裝置的設(shè)備,應(yīng)該標(biāo)記著小心靜電放電的警告標(biāo)志,(如:EOS/ESD
S8.1)。該標(biāo)志應(yīng)位于設(shè)備上,操作人員容易看得見的位置。此外,當(dāng)一個靜電放電敏感裝置被組合到下一個比較**的裝置時,該標(biāo)志也應(yīng)該位于明顯易見的位置。
2.2.5.2 包裝
防靜電包裝應(yīng)根據(jù)EOS/ESDS8.1進(jìn)行標(biāo)記。在**應(yīng)用領(lǐng)域應(yīng)根據(jù)MIL-STD-2073-1進(jìn)行標(biāo)記。
2.2.2. 設(shè)備
對于設(shè)備的進(jìn)一步的指導(dǎo)原則,可在ESD.ADV.2.0 中找到。
2.2.2.1. 交流電動工具
交流電動工具的工作部件,應(yīng)該能提供一個導(dǎo)電接地途徑。類似焊接電烙鐵的新式通電手持工具,從焊頭到接地的電阻應(yīng)不小于1.0 歐姆。
注意:這電阻值可能隨著使用而增加,但應(yīng)該以小于20.0歐姆作為驗(yàn)證目標(biāo)。
2.2.2.2. 電池作動力和氣體作動力的手持工具
電池作動和氣體作動手持工具,當(dāng)被拿著時,應(yīng)該有小于1x1012歐姆的接地電阻。
2.2.2.3. 自動化取放機(jī)
自動化取放機(jī)上,無論是在靜止或是移動狀態(tài),都應(yīng)給所有導(dǎo)電材料或消電材料制成的組件,提供一個連續(xù)的導(dǎo)電接地通路。這種設(shè)備,應(yīng)該將被取放的靜電放電敏感物件所產(chǎn)生的電荷減到*小。在組件的取放途中,必須采用絕緣材料的零件時,這些零件需精心設(shè)計,使得在被取放元組件上,產(chǎn)生的電場和電荷*小。
2.2.7. 取放
2.2.7.1. 取放流程的要求
防靜電的取放流程,應(yīng)被建立,存檔及實(shí)施。在所有區(qū)域,只要有手工或機(jī)器取放靜電放電敏感物件的制程,就必須有防靜電的取放流程。在防護(hù)覆蓋物或包裝之外的靜電放電敏感物件,只能在被保護(hù)區(qū)域中取放。
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ANSI/ESD-S20.20-1999
2.2.7.2. 取放流程的指導(dǎo)原則 取放流程應(yīng)該指出所有的操作以及,在保護(hù)和非保護(hù)區(qū)內(nèi),靜電放電敏感物件將被取放的位置。
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表 1. – 靜電放電控制方案技術(shù)要求之概括
(關(guān)于選擇測試方法的進(jìn)一步的指導(dǎo),請參閱2.2章節(jié))
技術(shù)要求 參考章節(jié)
實(shí)施程序或方法
區(qū)域1制造區(qū)
區(qū)域2服務(wù)現(xiàn)場
測試方法,標(biāo)準(zhǔn)或咨詢 推薦范圍 接地/連接系統(tǒng) 2.2.1ANSIEOS/ESD
S 2.1
設(shè)備接地
R O ANSI EOS/ESDS 2.1〈1.0 歐姆
AC 阻抗
輔助設(shè)備接地
O O ANSI EOS/ESDS 2.1<1.0 歐姆
AC 阻抗
同電位連接 O O ESD ADV 2.0<1.0x109歐姆2
共同接地點(diǎn)
R O ANSI EOS/ESDS 2.1<1.0 歐姆
AC 阻抗
人員接地 2.2.2
腕帶系統(tǒng)
坐下操作 R R
站立操作 O O
ESD S 1.1 <35 x 102 歐姆7
地板-鞋面系統(tǒng) OOESDSTM97.1
or ESD STM
97.2