ESD基本常識(shí)
1.ESD的基本知識(shí),海威達(dá)航技術(shù)支持:(壹叁陸零叁零捌捌叁肆零)聯(lián)系鐘生
1.1什么叫靜電---即相對(duì)靜止不動(dòng)的電荷(Electro-Static),通常指因不同物體之間相互摩擦而產(chǎn)生的在物體表面所帶的正負(fù)電荷。
1.2靜電放射(ESD)---指具有不同靜電電位的物體由于直接接觸或靜電感應(yīng)所引起的物體之間靜電電荷的轉(zhuǎn)移(Electro-Static-Discharge)。通常指在靜電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度之后,擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象。

1.3靜電產(chǎn)生的原因
1.3.1微觀原因----根據(jù)原子物理理論,電中性時(shí)物質(zhì)處于電平衡狀態(tài)。由于不同物質(zhì)原子的接觸產(chǎn)生電子的得失,使物質(zhì)失去電平衡,產(chǎn)生靜電現(xiàn)象。
1.3.2宏觀原因---1)物體間摩擦生熱,激發(fā)電子轉(zhuǎn)移
2)物體間的接觸和分離產(chǎn)生電子轉(zhuǎn)移
3)電磁感應(yīng)造成物體表面電荷的不平衡分布
4)摩擦和電磁感應(yīng)的綜合效應(yīng)

一:物體接觸 二:物體分離
表一:典型的靜電電壓:
靜電電荷源 測(cè)得的電壓(V)
10%~20%RH 65%~90%RH
走過(guò)地毯 35000 1500
在聚烯烴類(lèi)塑料地面行走 12000 250
工作臺(tái)旁操作的工人 6000 100
翻動(dòng)聚乙烯膜封皮的說(shuō)明書(shū) 7000 600
從工作臺(tái)拾起普通聚乙烯袋 20000 1200
墊有聚氨酯泡沫的工作椅 18000 1500
1.4 靜電造成的危害
1.4.1在過(guò)去的十年里,雖然有許多的努力但是靜電仍然影響著制造生產(chǎn)量、產(chǎn)品質(zhì)量、產(chǎn)品可靠性和制造成本等。業(yè)界專(zhuān)家統(tǒng)計(jì)每年約有數(shù)十億美金的直接損失,間接的損失(維修、重工、運(yùn)輸?shù)龋┚透嗔?。ESD的損害是電子制造業(yè)中zui大的不liang原因之一(約占8-33%)

表二:靜電損害統(tǒng)計(jì)表
靜電損害階段 zui小損失 zui大損失 平均損失
元器件制造業(yè) 4% 97% 16-22%
元件貼裝業(yè) 3% 70% 9-15%
電子組裝業(yè) 2% 35% 8-14%
使用者 5% 70% 27-33%
1.4.2 ESD對(duì)電子元器件損害的形式
A.即時(shí)失效---產(chǎn)品的功能喪失,在zui終檢驗(yàn)前能被測(cè)試發(fā)現(xiàn)??梢灾匦戮S修、測(cè)試或報(bào)廢。
即時(shí)失效約占受靜電損害形式的10%。
B.延時(shí)失效---產(chǎn)品可以通過(guò)所有的檢驗(yàn)和測(cè)試,到用戶使用一段時(shí)間后失效,產(chǎn)品性能不穩(wěn)定,存在潛伏性失效,極不易受控。只有在過(guò)程中預(yù)防ESD的損害。延時(shí)失效約占受靜電損害形式的90%。
1.5 靜電放電模式
A.其他物體對(duì)本物體放電-----當(dāng)一帶靜電的物體(包括人體)對(duì)本物體釋放靜電時(shí),造成本物體的損壞。
B.對(duì)本物體放電-----當(dāng)本物體帶電并對(duì)其他物體進(jìn)行放電時(shí),造成本物體的損壞。
C.電場(chǎng)感應(yīng)放電-----當(dāng)一物體聚積大量的靜電時(shí),在它的周?chē)陀幸粋€(gè)感應(yīng)的電場(chǎng),如果靜電敏感物體靠近接觸到該電場(chǎng),也會(huì)感應(yīng)生成電壓,就可能造成靜電敏感物體的損壞。

注:本物體是靜電敏感(ESDS)物體。
1.6 靜電保護(hù)可靠靜電壓是多少
1.6.1靜電保護(hù)的可靠靜電壓和電子元器件本身承受靜電損壞的程度有關(guān),
有三種方式可以確認(rèn)元器件的靜電承受等級(jí)。1.HBM(Human Body Model)人體模式; 2.CDM(ChargedDevice Model )物體帶電模式 ; 3. Machine Model機(jī)械模式。
1.6.2大多數(shù)電子元器件在小于100V的靜電壓影響下就會(huì)損壞,也有的電子元器件(如磁盤(pán)元件)在10V的靜電壓影響下就失效了。

表三:元器件敏感程度表
元器件類(lèi)型 損壞電壓(V)
VMOS 30---1800
MOSFET 100---200
EPROM 100---1500
JFET 140---7000
OPAMP 190---2500
CMOS 250---3000
Shottky Diode 300---2500
Resistor 300---3000
Bipolar transistor 400---7000
SCR 700---1500
Shottky TTL 1000---2500
HCMOS 700---1500
ACMOS 350---2000
BCL 500---1500
概述:1.事實(shí)上所有的材料,甚至導(dǎo)體都有可能摩擦生電。
2.增加ESD的幾種因素
2.1低濕度
2.2一定的活動(dòng)(走動(dòng)、推動(dòng)等)
2.3快速運(yùn)動(dòng)
2.4所接觸材料的類(lèi)型(特別是塑膠類(lèi)和合成材料及絕緣體)
3.靜電的放射能立即的損壞產(chǎn)品,也有可能對(duì)產(chǎn)品造成潛伏性的損害。
4.靜電存在于我們組裝生產(chǎn)、測(cè)試、運(yùn)輸?shù)雀鱾€(gè)階段里。
5.帶電的物體的四周存在靜電場(chǎng)。
6.元器件的靜電損傷有三種模式造成:a其他物體放電至本物體;b從本物體放電;c電場(chǎng)感應(yīng)引起的電荷轉(zhuǎn)移。

2.ESD控制原理
2.1 靜電控制方法(因?yàn)殪o電荷總會(huì)尋找到放電的路徑,所以我們要事先正確的引導(dǎo)靜電的泄放)
A.設(shè)計(jì)我們的元件、產(chǎn)品或裝配件,使其更合理的避免靜電放電(ESD)的作用。
a.可能的話,使用對(duì)靜電不敏感的元件,
b.對(duì)我們使用的那些靜電放電敏感的(ESDS, ESD-sensitive)元件提供適當(dāng)?shù)妮斎氡Wo(hù)。
這里相互矛盾的是,先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)意味著更小型化和更復(fù)雜的幾何形狀,但通常對(duì)ESD更為敏感??墒牵诋a(chǎn)品設(shè)計(jì)就建立越多的ESD控制,其后將發(fā)生的問(wèn)題越少
B.定義我們所需要控制的等級(jí)(本公司對(duì)靜電可靠區(qū)內(nèi)的靜電壓要求在100V以下)
C.劃分并標(biāo)示ESD可靠區(qū)域
D.消除或降低靜電的產(chǎn)生
產(chǎn)品設(shè)計(jì)是不可能達(dá)到全部預(yù)防ESD的要求,所以我們要在過(guò)程中消除或降低靜電的產(chǎn)生。
zui基本的是沒(méi)有充電就不會(huì)有放電。
a在工作環(huán)境中盡可能地減少或消除許多靜電產(chǎn)生的工序或材料,如普通塑料;減少搬運(yùn)等。
b在工作環(huán)境中的工序或材料應(yīng)該保持在相同的靜電電勢(shì),因?yàn)镋SD不會(huì)發(fā)生在保持相同電勢(shì)或零電勢(shì)的材料之間。
c提供地線給靜電手環(huán)帶、地板或工作臺(tái)表面,可靠地減少放電產(chǎn)生與積累。這些導(dǎo)電或釋放材料應(yīng)該電氣連接到相同的公共地。
我們不可以逃避ESD元件和產(chǎn)品,但是可以減少或消除靜電放電的產(chǎn)生與積累。
E.可靠的釋放或中和
因?yàn)殪o電的所有產(chǎn)生是不可能完全消除的,所以我們只有可靠地釋放或中和那些要發(fā)生的靜電。
a適當(dāng)?shù)慕拥睾蛯?dǎo)電性或耗散性的材料起主要作用。例如,帶靜電進(jìn)入工作環(huán)境的工人可通過(guò)帶靜電手環(huán)或穿戴ESD工作鞋踏過(guò)ESD地板墊來(lái)消除自己身上的靜電。靜電傳到地線,而不是對(duì)敏感元件放電。
b對(duì)一些物體,如普通塑料和其它絕緣體,接地不能消除靜電放電。通常,利用離子風(fēng)機(jī)來(lái)中和這些絕緣材料上的放電。離子風(fēng)機(jī)在作用過(guò)程產(chǎn)生正負(fù)離子,吸引到放電物體表面,因此有效地中和靜電。

F.保護(hù)產(chǎn)品
我們要預(yù)防靜電放電時(shí)接觸到敏感元件和裝配。
a一個(gè)方法是,對(duì)元件和裝配提供適當(dāng)?shù)慕拥鼗蚍至?,使任何放電從產(chǎn)品分散開(kāi)。
b弟、二個(gè)方法是,采用適當(dāng)?shù)陌b材料來(lái)包裝和運(yùn)輸敏感元件。這些材料可有效地將產(chǎn)品屏蔽開(kāi)靜電,減少由于包裝內(nèi)任何產(chǎn)品移動(dòng)而產(chǎn)生的靜電。
這六條靜電控制方法可幫助選擇適當(dāng)?shù)牟牧虾统绦?,用?lái)有效地控制ESD。在大多數(shù)情況下,有效的ESD控制程序?qū)⑸婕八羞@些方法。在開(kāi)發(fā)控制程序中,確認(rèn)那些敏感元件、敏感的級(jí)別、和那些對(duì)其具有ESD危害的操作。然后尋找防護(hù)這些元件的方法。zui后,選擇和實(shí)施可完成這個(gè)任務(wù)的程序和材料的結(jié)合使用。

2.2 有效的ESD控制計(jì)劃
A.成立ESD控制小組
因?yàn)镋SD問(wèn)題和解決可能涉及到各個(gè)部門(mén),所以ESD控制小組成員會(huì)有工程、制造、HR、QA、倉(cāng)庫(kù)、采購(gòu)等組成,這個(gè)小組負(fù)責(zé)公司ESD的開(kāi)展、稽核等管理工作。
B.評(píng)估及規(guī)劃
根據(jù)公司ESD敏感項(xiàng)目(元器件、裝配、成品)來(lái)定義ESD敏感的水平??梢怨緝?nèi)部測(cè)試定義,也可以采用供應(yīng)商提供數(shù)據(jù)或參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。再根據(jù)定義好的ESD敏感水平來(lái)規(guī)劃公司的設(shè)備、程序、組織的適用性。
C.建立ESD控制程序
在完成公司的ESD評(píng)估和規(guī)劃的基礎(chǔ)上,建立一個(gè)ESD控制程序,以書(shū)面文件的形式清楚的定義每個(gè)人的義務(wù)及職責(zé)。
D.取得高層管理的支持
ESD控制計(jì)劃實(shí)施需要高層管理的支持。
E.制定一個(gè)訓(xùn)練計(jì)劃
適當(dāng)?shù)挠?xùn)練對(duì)對(duì)經(jīng)常接觸ESD的人員是尤為重要,它的主要目標(biāo)是讓員工自覺(jué)地預(yù)防ESD事件的發(fā)生。
F.稽核計(jì)劃
完善一個(gè)控制計(jì)劃需要不斷的稽核、分析、改進(jìn)。稽核檢查是很重要的,它讓我們找出實(shí)施中的缺點(diǎn)和控制計(jì)劃是否被有效地執(zhí)行。
概述:靜電控制六個(gè)方法和六項(xiàng)控制計(jì)劃的發(fā)展和落實(shí),是實(shí)施有效的ESD控制程序的指導(dǎo)。
3.ESD控制程序及材料
3.1首先是要定義元件和裝配的ESD敏感水平,然后再?zèng)Q定相應(yīng)的ESD控制程序和材料
3.2定義那些區(qū)域需要ESD保護(hù)
表四:典型的需要ESD保護(hù)的區(qū)域
收料區(qū)域
檢驗(yàn)區(qū)域
儲(chǔ)物料區(qū)域和倉(cāng)庫(kù)
裝配線
測(cè)試區(qū)域
研發(fā)部
包裝區(qū)域
維修區(qū)
實(shí)驗(yàn)室
無(wú)塵室
3.3對(duì)有效的ESD控制,將靜電釋放在大地上是十分重要的。所以要將工作區(qū)所有工作桌、機(jī)器、工作桌表面、人連接于相同的接地線上。
3.4控制人體上的靜電
人體的靜電是主要的靜電源之一,他可能有上千伏。如果不適當(dāng)?shù)目刂?,這項(xiàng)靜電很容易對(duì)靜電敏感器件造成損害,所以ESD控制程序特別強(qiáng)調(diào)人體靜電的解除。
A.靜電手環(huán)-----它是控制人體靜電主要方法之一。靜電能通過(guò)手環(huán)連續(xù)可靠地釋放到地上,并不在人體上累積。

B.導(dǎo)電鞋-----它連同ESD地板組合,由ESD地板提供一條靜電從導(dǎo)電鞋到大地的釋放途徑。使人體減少積聚靜電荷至可靠水平,除此之外它們還可減少摩擦充電。

C.靜電衣----能隔離人體皮膚和衣服織物上的靜電,讓靜電通過(guò)靜電手環(huán)或?qū)щ娦煽康蒯尫诺降厣稀?/span>

3.5工作站的要求
標(biāo)準(zhǔn)ESD工作站須提供連接工作桌面、儀器、手環(huán)、輔助設(shè)備和地板到相同的地上。
工作桌面和地板面的表面阻抗應(yīng)在106---109 ohm之間。
圖三:典型的ESD工作站圖示
3.6 包裝和ESD處理材料
包裝是指用具有ESD防護(hù)功能的材料來(lái)包裝靜電敏感器件,防止靜電對(duì)它造成傷害。包裝材料提供三種保護(hù)的方式:1.超低充電 2.靜電釋放保護(hù)3.屏蔽電場(chǎng)
ESD處理材料:
1.絕緣材料-----電荷無(wú)法移動(dòng)。表面電阻大于1×1012 ohm; 體電阻大于1×1011ohm。
2.導(dǎo)電材料-----因?yàn)樗休^低的阻值,電荷很容易的在表面或內(nèi)部移動(dòng)。表面電阻小于1×105ohm; 體電阻小于1×104ohm。
3.耗散性材料----耗散性材料的阻抗是間于絕緣和導(dǎo)電材料之間的,所以它的電荷移動(dòng)的速度比絕緣材料要快,但比導(dǎo)電材料要慢。它的表面電阻在1×105—1×1012 ohm之間; 體電阻在1×104—1×1011 ohm之間。
3.7 識(shí)別
用適當(dāng)?shù)姆?hào)來(lái)識(shí)別靜電敏感裝置,提示要注意ESD保護(hù)。ESD協(xié)會(huì)制定了二種符號(hào)
A.ESD敏感符號(hào)(下圖)由三角形、手和一斜線組成。三角形代表“小心”,一只到達(dá)的手和斜線代表“不接觸”。整個(gè)表示為:ESD敏感的材料,不可接觸。
圖五:ESD敏感符號(hào)
B.ESD保護(hù)符號(hào)(下圖)由三角形、手和一弧線組成?;【€代表“傘”,表示ESD保護(hù)材料。
圖六:ESD保護(hù)符號(hào)

4. ESD的訓(xùn)練和稽核
為了確保我們ESD控制程序的有效性和員工的執(zhí)行狀況,所以要進(jìn)行ESD的訓(xùn)練和稽核。
4.1ESD訓(xùn)練包括全公司的人員,甚至于我們的供應(yīng)商和外包商。訓(xùn)練內(nèi)容包括ESD的原理、控制程序的細(xì)節(jié),每個(gè)人的職責(zé)等。為了保證我們訓(xùn)練的效果,可以進(jìn)行測(cè)試。
4.2稽核檢查
稽核是ESD控制程序的成功管理的一個(gè)主要因素。
A.稽核的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)當(dāng)有文件和程序明確定義
B.稽核過(guò)程中需要使用一些測(cè)量?jī)x器
C.稽核包括所有的ESD保護(hù)區(qū)域和相關(guān)設(shè)施。
D.需要定期進(jìn)行稽核
E.將稽核的結(jié)果詳細(xì)的記錄下來(lái)。
F.根據(jù)稽核結(jié)果制定一個(gè)矯正行動(dòng)來(lái)完善整個(gè)ESD控制體系。
